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    膜合成例 :
    ITO(インジウム-スズ酸化物)
    PZT(チタン-ジルコン酸鉛)
    STO(SrTiO3)

    UV照射によるパターン化

    Patterned by UV irradiation

    試作品
    ·Y(CF3COO)3 トリフルオロ酢酸イットリウム
    ·Ba(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸バリウム
    ·Cu(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸銅
    (用途)超伝導薄膜
    金属酸化物薄膜用原料

    *図中太字は提供可能物質

    {yahoojp}zt03-top13-wl-187